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去离子水是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。国际标准化组织ISO/TC 147规定的“去离子”定义为:“去离子水完全或不完全地去除离子物质,主要指采用离子交换树脂处理方法。”现在的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。在半导体行业中,去离子水被称为“超纯水”或是“高纯水”。
去离子水分类,通常去离子水可以分为4类:
A类:去离子水只要求将水中离子去除一大部分,使水得以净化,种类去离子水电导率通常在200-10μs;
B类:去离子水电导率通常在1-10μs,属于食品级别;
C类:去离子水电导率通常在0.1-0.9μs,属于精细工业级别;
D类:去离子水电导率通常在0.07μs以上,属于电子级别。
去离子水水质标准:
去离子水水质标准:
指标/级别 |
EW-I | EW-II | EW-III | EW-IV |
电阻率M Ω·cm(25℃) | 18以上(95%时间)不低于17 | 15(95%时间)不低于13 | 12 | 0.5 |
全硅,最大值, μg/L | 2 | 10 | 50 | 1000 |
1 μm微粒数, 最大值, 个/mL | 0.1 | 5 | 10 | 500 |
细菌个数,最大值,个/mL | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 |
铜,最大值, μg/L | 0.2 | 1 | 2 | 500 |
锌,最大值, μg/L | 0.2 | 1 | 0.5 | 500 |
镍,最大值, μg/L | 0.1 | 1 | 2 | 500 |
钠,最大值, μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 1000 |
钾,最大值, μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 500 |
氯,最大值, μg/L | 1 | 1 | 10 | 1000 |
硝酸根,最大值, μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
磷酸根,最大值, μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
******根,最大值, μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
总有机碳,最大值, μg/L | 20 | 100 | 200 | 1000 |
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